碳化硅是一種半導體,在自然界中以極其罕見的礦物莫桑石的形式存在。自1893年以來已經(jīng)被大規(guī)模生產(chǎn)為粉末和晶體,用作磨料等。在C、N、B等非氧化物高技術(shù)耐火原料中,碳化硅是應用最廣泛、最經(jīng)濟的一種,可以稱為金鋼砂或耐火砂。 中國工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體。
碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑為原料通過電阻爐高溫冶煉而成。碳化硅在大自然也存在罕見的礦物,莫桑石。 碳化硅又稱碳硅石。在當代C、N、B等非氧化物高技術(shù)耐火原料中,碳化硅為應用最廣泛、最經(jīng)濟的一種??梢苑Q為金鋼砂或耐火砂。 碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生產(chǎn)綠色碳化硅時需要加食鹽)等原料在電阻爐內(nèi)經(jīng)高溫冶煉而成。目前我國工業(yè)生產(chǎn)的碳化硅分為黑色碳化硅和綠色碳化硅兩種,均為六方晶體,比重為3.20~3.25,顯微硬度為2840~3320kg/mm2。
結(jié)構(gòu)
英文名稱:silicon carbide,俗稱金剛砂。純碳化硅是無色透明的晶體。工業(yè)碳化硅因所含雜質(zhì)的種類和含量不同,而呈淺黃、綠、藍乃至黑色,透明度隨其純度不同而異。碳化硅晶體結(jié)構(gòu)分為六方或菱面體的 α-SiC和立方體的β-SiC(稱立方碳化硅)。α-SiC由于其晶體結(jié)構(gòu)中碳和硅原子的堆垛序列不同而構(gòu)成許多不同變體,已發(fā)現(xiàn)70余種。β-SiC于2100℃以上時轉(zhuǎn)變?yōu)棣?SiC。
碳化硅的工業(yè)制法是用優(yōu)質(zhì)石英砂和石油焦在電阻爐內(nèi)煉制。煉得的碳化硅塊,經(jīng)破碎、酸堿洗、磁選和篩分或水選而制成各種粒度的產(chǎn)品。
種類
碳化硅有黑碳化硅和綠碳化硅兩個常用的基該品種,都屬α-SiC。①黑碳化硅含SiC約95%,其韌性高于綠碳化硅,大多用于加工抗張強度低的材料,如玻璃、陶瓷、石材、耐火材料、鑄鐵和有色金屬等。②綠碳化硅含SiC約97%以上,自銳性好,大多用于加工硬質(zhì)合金、鈦合金和光學玻璃,也用于珩磨汽缸套和精磨高速鋼刀具。此外還有立方碳化硅,它是以特殊工藝制取的黃綠色晶體,用以制作的磨具適于軸承的超精加工,可使表面粗糙度從Ra32~0.16微米一次加工到Ra0.04~0.02微米。
特性
碳化硅由于化學性能穩(wěn)定、導熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、耐磨性能好,除作磨料用外,還有很多其他用途,例如:以特殊工藝把碳化硅粉末涂布于水輪機葉輪或汽缸體的內(nèi)壁,可提高其耐磨性而延長使用壽命1~2倍;用以制成的高級耐火材料,耐熱震、體積小、重量輕而強度高,節(jié)能效果好。低品級碳化硅(含SiC約85%)是極好的脫氧劑,用它可加快煉鋼速度,并便于控制化學成分,提高鋼的質(zhì)量。此外,碳化硅還大量用于制作電熱元件硅碳棒。
碳化硅的硬度很大,莫氏硬度為9.5級,僅次于世界上最硬的金剛石(10級),具有優(yōu)良的導熱性能,是一種半導體,高溫時能抗氧化。
碳化硅分類及性質(zhì):
基本信息列表
中文名稱:碳化硅
中文別名:碳化硅晶須
英文名稱:Silicon Carbide (Black)
英文別名:Silicon Carbide Black; silanyliumylidynemethanide; methylsilane; carbon(+4) cation; silicon(-4) anion
CAS:409-21-2
EINECS:206-991-8
分子式:SiC
分子量:40.0962
碳化硅至少有70種結(jié)晶型態(tài)。α-碳化硅為最常見的一種同質(zhì)異晶物,在高于2000 °C高溫下形成,具有六角晶系結(jié)晶構(gòu)造(似纖維鋅礦)。β-碳化硅,立方晶系結(jié)構(gòu),與鉆石相似,則在低于2000 °C生成,結(jié)構(gòu)如頁面附圖所示。雖然在異相觸媒擔體的應用上,因其具有比α型態(tài)更高之單位表面積而引人注目,但直至今日,此型態(tài)尚未有商業(yè)上之應用。
因其3.2的比重及高的升華溫度(約2700 °C),碳化硅很適合做為軸承或高溫爐之原料物件。在任何已能達到的壓力下,它都不會熔化,且具有相當?shù)偷幕瘜W活性。由于其高熱導性、高崩潰電場強度及高最大電流密度,在半導體高功率元件的應用上,不少人試著用它來取代硅[1]。此外,它與微波輻射有很強的偶合作用,并其所有之高升華點,使其可實際應用于加熱金屬。
純碳化硅為無色,而工業(yè)生產(chǎn)之棕至黑色系由于含鐵之不純物。晶體上彩虹般的光澤則是因為其表面產(chǎn)生之二氧化硅保護層所致。
歷史沿革
碳化硅是由美國人艾奇遜在1891年電熔金剛石實驗時,在實驗室偶然發(fā)現(xiàn)的一種碳化物,當時誤認為是金剛石的混合體,故取名金剛砂,1893年艾奇遜研究出來了工業(yè)冶煉碳化硅的方法,也就是大家常說的艾奇遜爐,一直沿用至今,以碳質(zhì)材料為爐芯體的電阻爐,通電加熱石英SIO2和碳的混合物生成碳化硅。
關(guān)于碳化硅的幾個事件
1905年 第一次在隕石中發(fā)現(xiàn)碳化硅
1907年 第一只碳化硅晶體發(fā)光二極管誕生
1955年 理論和技術(shù)上重大突破,LELY提出生長高品質(zhì)碳化概念,從此將SiC作為重要的電子材料
1958年 在波士頓召開第一次世界碳化硅會議進行學術(shù)交流
1978年 六、七十年代碳化硅主要由前蘇聯(lián)進行研究。到1978年首次采用“LELY改進技術(shù)”的晶粒提純生長方法
1987年~至今以CREE的研究成果建立碳化硅生產(chǎn)線,供應商開始提供商品化的碳化硅基
產(chǎn)能情況
我國有碳化硅冶煉企業(yè)200多家,年生產(chǎn)能力220多萬噸(其中:綠碳化硅塊120多萬噸,黑碳化硅塊約100萬噸)。冶煉變壓器功率大多為6300~12500kVA,最大冶煉變壓器為32000kVA。加工制砂、微粉生產(chǎn)企業(yè)300多家,年生產(chǎn)能力200多萬噸。2012年,我國碳化硅產(chǎn)能利用率不足45%。約三分之一的冶煉企業(yè)有加工制砂微粉生產(chǎn)線。碳化硅加工制砂微粉生產(chǎn)企業(yè)主要分布在河南、山東、江蘇、吉林、黑龍江等省。
我國碳化硅冶煉生產(chǎn)工藝、技術(shù)裝備和單噸能耗達到世界領(lǐng)先水平。黑、綠碳化硅原塊的質(zhì)量水平也屬世界級。我國碳化硅與世界先進水平的差距主要集中在四個方面:一是在生產(chǎn)過程中很少使用大型機械設(shè)備,很多工序依靠人力完成,人均碳化硅產(chǎn)量較低;二是在碳化硅深加工產(chǎn)品上,對粒度砂和微粉產(chǎn)品的質(zhì)量管理不夠精細,產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠;三是某些尖端產(chǎn)品的性能指標與發(fā)達國家同類產(chǎn)品相比有一定差距;四是冶煉過程中一氧化碳直接排放。國外主要企業(yè)基本實現(xiàn)了封閉冶煉,而我國碳化硅冶煉幾乎全部是開放式冶煉,一氧化碳全部直排。2012年,我國企業(yè)開發(fā)出了封閉冶煉技術(shù),實現(xiàn)了一氧化碳全部回收,但是距離全行業(yè)普及還有很長的路要走。
根據(jù)中國機床工業(yè)協(xié)會磨料磨具專委會碳化硅專家委員會的數(shù)據(jù),截至2012年底,全球碳化硅產(chǎn)能達260萬噸以上,產(chǎn)能達到1萬噸以上的國家有13個,占全球總產(chǎn)能的98%。其中中國碳化硅產(chǎn)能達到220萬噸,占全球總產(chǎn)能的84%。
市場需求
我國碳化硅冶煉企業(yè)主要分布在甘肅、寧夏、青海、新疆、四川等地,約占總產(chǎn)能85%。
2012年在中國經(jīng)濟發(fā)展速度放緩的情況下,生產(chǎn)情況普遍不理想,加之光伏企業(yè)舉步維艱,碳化硅作為耐材、磨料和光伏行業(yè)的基礎(chǔ)原材料,出口和內(nèi)銷均大幅下滑。綠碳化硅微粉加工企業(yè)更是身陷光伏企業(yè)的債務鏈條,多數(shù)冶煉企業(yè)沒有開工,或者短暫開工后即停產(chǎn)。
應用領(lǐng)域
碳化硅主要有四大應用領(lǐng)域,即:功能陶瓷、高級耐火材料、磨料及冶金原料。碳化硅粗料已能大量供應,不能算高新技術(shù)產(chǎn)品,而技術(shù)含量極高 的納米級碳化硅粉體的應用短時間不可能形成規(guī)模經(jīng)濟。
⑴ 作為磨料,可用來做磨具,如砂輪、油石、磨頭、砂瓦類等。
⑵ 作為冶金脫氧劑和耐高溫材料。
⑶ 高純度的單晶,可用于制造半導體、制造碳化硅纖維。
主要用途:用于3-12英寸單晶硅、多晶硅、砷化鉀、石英晶體等線切割。太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導體產(chǎn)業(yè)、壓電晶體產(chǎn)業(yè)工程性加工材料。
用于半導體、避雷針、電路元件、高溫應用、紫外光探測器、結(jié)構(gòu)材料、天文、碟剎、離合器、柴油微粒濾清器、細絲高溫計、陶瓷薄膜、裁切工具、加熱元件、核燃料、珠寶、鋼、護具、催化劑載體等領(lǐng)域。
磨料磨具
主要用于制作砂輪、砂紙、砂帶、油石、磨塊、磨頭、研磨膏及光伏產(chǎn)品中單晶硅、多晶硅和電子行業(yè)的壓電晶體等方面的研磨、拋光等。
化工
可用做煉鋼的脫氧劑和鑄鐵組織的改良劑,可用做制造四氯化硅的原料,是硅樹脂工業(yè)的主要原料。碳化硅脫氧劑是一種新型的強復合脫氧劑,取代了傳統(tǒng)的硅粉碳粉進行脫氧,和原工藝相比各項理化性能更加穩(wěn)定,脫氧效果好,使脫氧時間縮短,節(jié)約能源,提高煉鋼效率,提高鋼的質(zhì)量,降低原輔材材料消耗,減少環(huán)境污染,改善勞動條件,提高電爐的綜合經(jīng)濟效益都具有重要價值。
“三耐”材料
利用碳化硅具有耐腐蝕、耐高溫、強度大、導熱性能良好、抗沖擊等特性,碳化硅一方面可用于各種冶煉爐襯、高溫爐窯構(gòu)件、碳化硅板、襯板、支撐件、匣缽、碳化硅坩堝等。
另一方面可用于有色金屬冶煉工業(yè)的高溫間接加熱材料,如豎罐蒸餾爐、精餾爐塔盤、鋁電解槽、銅熔化爐內(nèi)襯、鋅粉爐用弧型板、熱電偶保護管等;用于制作耐磨、耐蝕、耐高溫等高級碳化硅陶瓷材料;還可以制做火箭噴管、燃氣輪機葉片等。此外,碳化硅也是高速公路、航空飛機跑道太陽能熱水器等的理想材料之一。
導熱材料
SiC材料的導熱性與大多數(shù)介電固體一樣,主要受熱彈性波(稱為聲子)傳遞的影響。SiC 材料的導熱率主要取決于:1)燒結(jié)助劑的數(shù)量、化學計量比、化學性質(zhì)以及相關(guān)的晶界厚度和結(jié)晶度;2)晶粒尺寸;3)SiC 晶體中雜質(zhì)原子的類型和濃度;4)燒結(jié)氣氛;5)燒結(jié)后的熱處理等。
SiC 具有高導熱、禁帶寬度大、電子飽和遷移速率高和臨界擊穿電場高等優(yōu)異性質(zhì),其優(yōu)異的綜合性能彌補了傳統(tǒng)半導體材料與器件在實際應用中的不足,在電動汽車、手機 通信 芯片等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。由于 SiC 有著更高的可靠性、更高的工作溫度,更小的尺寸和更高的電壓承受能力等,可應用于主驅(qū)板、車載充電機和電源模塊等功率器件,從而可大幅度提高效率,給電動汽車增加續(xù)航能力。同時,SiC 具有良好的導熱性能,使用 SiC 半導體功率器件可以縮小電池尺寸以及更有效地轉(zhuǎn)換能量,從而降低總成器件的成本。SiC 陶瓷作為一種高性能結(jié)構(gòu)陶瓷材料,具有優(yōu)異的熱性能,可廣泛應用于耐高溫、加熱與熱交換工業(yè)領(lǐng)域。
鋼鐵
利用碳化硅的耐腐蝕,抗熱沖擊耐磨損,導熱好的特點,用于大型高爐內(nèi)襯提高了使用壽命。
冶金選礦
碳化硅硬度僅次于金剛石,具有較強的耐磨性能,是耐磨管道、葉輪、泵室、旋流器、礦斗內(nèi)襯的理想材料,其耐磨性能是鑄鐵、橡膠使用壽命的5-20倍也是航空飛行跑道的理想材料之一。
節(jié)能
利用良好的導熱和熱穩(wěn)定性,作熱交換器,燃耗減少20%,節(jié)約燃料35%,使生產(chǎn)率提高20-30%。
磨料粒度及其組成按GB/T2477--83。磨料粒度組成測定方法按GB/T2481--83。
珠寶
合成碳化硅(Synthetic Moissanite)又名合成莫桑石、合成碳硅石(化學成分SiC),色散0.104,比鉆石(0.044)大,折射率2.65-2.69(鉆石2.42),具有與鉆石相同的金剛光澤,“火彩”更強,比以往任何仿制品更接近鉆石。
中國產(chǎn)地
長白山脈、河南、河北石家莊靈壽縣、青海、甘肅、寧夏、新疆、四川、哈爾濱、湖南、貴州、湖北丹江口等地。
碳化硅半導體
碳化硅半導體是一種由硅(Si)和碳(C)組成的化合物半導體材料,屬于寬帶隙(WBG)材料系列。以下是關(guān)于碳化硅半導體的詳細解析:
一、基本特性
化學成分與結(jié)構(gòu):碳化硅(SiC)是共價鍵晶體,有閃鋅礦型和鉛鋅礦型兩種結(jié)晶形式。其密度約為3.2g/cm3,熔點高達2830℃,本征電阻率在(1~0.7)Ω·cm之間,禁帶寬度在2.99~42.6eV范圍內(nèi),電子遷移率可達300~900cm2/(V·s),介電常數(shù)約為9.72~10.32。
物理性能:碳化硅具有高禁帶寬度、高電導率、高熱導率、低通損耗等優(yōu)異性能,特別是其寬禁帶特性(約為硅的3倍)和高熱導率(約為硅的5倍),使得碳化硅器件能夠在高溫、高頻、高壓條件下工作,且具有較高的功率密度和較低的能量損耗。
二、產(chǎn)業(yè)鏈與應用
產(chǎn)業(yè)鏈:碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈包括原材料、襯底、外延材料以及器件和模塊等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。上游主要原材料包括硅烷、氮化硼等,經(jīng)過加工后轉(zhuǎn)變?yōu)樘蓟?span id="czreopm" class="hrefStyle">硅襯底,進一步可以得到外延材料。外延片經(jīng)過光刻和蝕刻等精細步驟成為芯片,封裝后最后就成為了器件產(chǎn)品。
應用領(lǐng)域:碳化硅半導體廣泛應用于新能源汽車、光伏、電網(wǎng)、5G通信、國防軍工、航空航天等領(lǐng)域。在新能源汽車領(lǐng)域,碳化硅功率器件(如MOSFET、SBD等)被用于主逆變器、DC-DC轉(zhuǎn)換器、車載充電器等關(guān)鍵部件,能夠顯著降低能量損耗、提高系統(tǒng)效率和可靠性。在光伏領(lǐng)域,碳化硅器件用于逆變器中,能夠提高轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。在電網(wǎng)領(lǐng)域,碳化硅器件用于高壓直流輸電(HVDC)、柔性交流輸電系統(tǒng)(FACTS)等領(lǐng)域,能夠提高電網(wǎng)的靈活性和可靠性。
三、技術(shù)挑戰(zhàn)與市場前景
技術(shù)挑戰(zhàn):盡管碳化硅半導體具有諸多優(yōu)異性能,但其制備工藝復雜、成本高昂,仍是制約其大規(guī)模應用的主要因素。此外,碳化硅器件的封裝技術(shù)也面臨挑戰(zhàn),傳統(tǒng)的硅功率器件封裝技術(shù)難以滿足碳化硅器件的高頻、高溫、高功率密度等特性要求。
市場前景:隨著新能源汽車、光伏、智能電網(wǎng)等行業(yè)的快速發(fā)展,碳化硅半導體的市場需求持續(xù)增長。據(jù)TrendForce數(shù)據(jù)顯示,2023年碳化硅功率元件市場規(guī)模達到22.8億美元,同比增長41.4%。預計到2026年,市場規(guī)模有望增長至53.3億美元。同時,國內(nèi)碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)正加速國產(chǎn)替代進程,有望在全球市場中占據(jù)更大份額。
綜上所述,碳化硅半導體作為一種新型的高性能半導體材料,在多個領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應用潛力和市場前景。隨著技術(shù)的不斷進步和成本的逐步降低,碳化硅半導體有望在更多領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)廣泛應用。
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