ITO導(dǎo)電膜玻璃

簡(jiǎn)介

        氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃，多通過(guò)ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線，在高度凈化的廠房環(huán)境中，利用平面磁控技術(shù)，在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。

　　產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽(yáng)能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。

　　ITO導(dǎo)電膜的主要參數(shù)有：表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩(wěn)定性、加熱收縮率、加熱卷曲等。其中光透過(guò)率主要與ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面電阻有關(guān)。在基底材料相同的情況下，ITO膜的表面電阻越小，ITO膜層的厚度越大，光透過(guò)率相應(yīng)的會(huì)有一定程度的減小。

ITO導(dǎo)電層的特性

        ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過(guò)率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性，所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在存放時(shí)要防潮。

　　ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導(dǎo)電和透過(guò)率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過(guò)程中，盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成，晶粒在加溫過(guò)程中會(huì)裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量，所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導(dǎo)電玻璃的分類

    　ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500歐姆）、普通玻璃（電阻在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻小于60歐姆）。高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。

　　ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。

　　ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。

影響ITO玻璃性能的主要參數(shù)

　　長(zhǎng)度、寬度、厚度及允差（±0.20）

　　垂直度（≤0.10%）

　　翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

　　微觀波紋度

　　倒邊C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm）R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）SIO2阻擋層厚度（350埃±50埃，550nm透過(guò)率 ≥90%）ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）
 

化學(xué)穩(wěn)定性

　    耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無(wú)水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。附著力：在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無(wú)損傷；或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過(guò)10%。熱穩(wěn)定性：在 3000C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。

測(cè)試方法及判定標(biāo)準(zhǔn)

        測(cè)試方法及判定標(biāo)準(zhǔn)尺寸：

　　A、測(cè)試方法：用直尺和游標(biāo)卡尺測(cè)量待測(cè)玻璃原片的長(zhǎng)度、寬度、厚度。

　　B、判定標(biāo)準(zhǔn)：測(cè)量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。

　　面電阻:

　　A、測(cè)試方法：把待測(cè)試玻璃整個(gè)區(qū)域做為測(cè)試區(qū)域，然后測(cè)試區(qū)域分成九等份后再用四探針測(cè)試儀分別測(cè)試各區(qū)域的面電阻。

　　B、判定標(biāo)準(zhǔn)：根據(jù)測(cè)試結(jié)果計(jì)算出電阻平均值及電阻資料分散值，結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。

　　ITO層溫度性能

　　A、測(cè)試方法：把待測(cè)玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測(cè)試其加溫前后的同一點(diǎn)面電阻阻值。B、判定標(biāo)準(zhǔn)：ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。

　　蝕刻性能：

　　A、測(cè)試方法：把待測(cè)玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測(cè)試其蝕刻完全的時(shí)間。

　　B、判定標(biāo)準(zhǔn)：蝕刻完全的時(shí)間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時(shí)間的一半值為合格。