1.5.1.1 連續(xù)化學(xué)氣相沉積

連續(xù)化學(xué)氣相沉積(ContinuousChemicalVaporDeposition,ConCVD)概念接近于目前多數(shù)晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線使用的在線式工藝,該工藝非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。ConCVD概念基于連續(xù)輸運(yùn)晶片工藝,通過(guò)熱反應(yīng)區(qū)域發(fā)生外延沉積。為了提高氣相Si到固相 ......（本文共 1363 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>