1.5.1.3 分批式外延反應(yīng)腔

雖然連續(xù)化學(xué)氣相沉積ConCVD和對流輔助化學(xué)氣相沉積CoCVD已經(jīng)在大規(guī)模生產(chǎn)的可行性上取得了很大的進展,但是這兩種概念的可靠性和安全性仍然有待論證。微電子領(lǐng)域發(fā)展了分批式外延反應(yīng)腔(batchtypeepitaxialreactor),用SiH4作為Si前驅(qū)物 ......（本文共 1142 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>