1.5.2.1 溫度差法

溫度差法(temperaturedifferencemethod,TDM)是一種有較好前景的準(zhǔn)連續(xù)技術(shù),可以在10cm×10cm的大面積多晶硅襯底上生長外延層,是液相外延LPE大規(guī)模生產(chǎn)研究的重要方向[95,96]。TDM先被用于為發(fā)光器件沉積Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體層(semiconductorlayer)[97]。與 ......（本文共 463 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>