1.2.5 多層膜應(yīng)力

1.2.5.1　多層膜應(yīng)力的物理模型為了實(shí)現(xiàn)特定的光譜性能,光學(xué)薄膜多數(shù)是由多層膜組成。與單層膜不同,多層膜的應(yīng)力發(fā)展涉及多種薄膜材料的熱物參數(shù)的組合及多個界面的力學(xué)匹配問題,其物理過程比單層膜更復(fù)雜。下面對多層膜中 ......（本文共 3411 字 , 14 張圖）     [閱讀本文] >>