2.2.4 軟X射線多層膜反射鏡的研制

軟X射線多層膜的制備較之可見光多層膜有更嚴(yán)格的技術(shù)要求。鍍膜設(shè)備必須做到:①能按原子尺度在鍍膜過程中實(shí)時(shí)控制膜厚;②膜層足夠均勻;③盡量減少界面變粗糙和兩種材料在界面處的滲透擴(kuò)散;④有足夠長(zhǎng)的穩(wěn)定時(shí)間以適應(yīng)制備 ......（本文共 1755 字 , 2 張圖）     [閱讀本文] >>