2.3.2 多層介質(zhì)膜光柵的衍射特性分析

用嚴(yán)格矢量理論可以對(duì)多層介質(zhì)膜光柵的衍射特性進(jìn)行數(shù)值計(jì)算和分析。研究衍射效率隨浮雕光柵的槽深、占寬比、剩余厚度、入射角度、波長、梯形光柵的角度、分層數(shù)目、諧波數(shù)目以及多層介質(zhì)膜折射率和厚度誤差等因素的變 ......（本文共 3574 字 , 11 張圖）     [閱讀本文] >>