第27問為什么數(shù)據(jù)線金屬采用Ti/Al時(shí)接觸孔需要特殊設(shè)計(jì)

如圖1所示為ITO與Ti/Al金屬接觸圖案,其中金屬中心開孔,下方墊有半導(dǎo)體層。為什么不采用如圖2表示的簡單接觸孔樣式呢?圖1　ITO與Ti/Al金屬接觸孔圖2　理想ITO與Ti/Al金屬接觸孔如圖3所示,ITO與金屬Al直接接觸,但是Al膜會與ITO膜之間由于 ......（本文共 566 字） [閱讀本文] >>