3.3.4 等離子體鞘

輝光放電中的陰極鞘層和陽極鞘層是等離子體與電極接觸而產(chǎn)生的。實(shí)際上當(dāng)?shù)入x子體與容器壁接觸或在等離子體中插入任何一個絕緣體的表面也都會產(chǎn)生鞘層。等離子體化學(xué)中的許多現(xiàn)象和工藝技術(shù)都與電極或基片表面附近鞘層 ......（本文共 3347 字 , 13 張圖）     [閱讀本文] >>