3.4.1 高頻等離子體的發(fā)生方法

圖3-10是高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖。圖3-10高頻等離子體發(fā)生裝置的方框圖其中高頻振蕩器必須能承受負(fù)載阻抗的大幅度變化。從振蕩器發(fā)出的信號(hào)先經(jīng)過(guò)脈沖放大器放大,再經(jīng)過(guò)功率放大后輸出。阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)是為了使負(fù)載阻 ......（本文共 806 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>