3.4.2 高頻等離子體反應(yīng)裝置的等效電路

所屬欄目：等離子體科學(xué)技術(shù)

平行板型等離子體反應(yīng)裝置的等效電路如圖3-13所示。圖3-13平行板型等離子體反應(yīng)裝置的等效電路 ......（本文共 48 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>

推薦內(nèi)容

• 等離子體的定義
• 等離子體科學(xué)和技術(shù)發(fā)展的歷史^[1]
• 等離子體科學(xué)和技術(shù)的主要方面
• 等離子體科學(xué)和技術(shù)發(fā)展的狀況
• 等離子體的準(zhǔn)電中性
• 德拜屏蔽和德拜長度
• 等離子體的振蕩和振蕩頻率
• 等離子體參量Λ
• 等離子體判據(jù)
• 電子溫度和離子溫度

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