3.4.5 利用高頻放電的原因

所屬欄目：等離子體科學(xué)技術(shù)

3.4.5 利用高頻放電的原因

從上述的討論中已經(jīng)可以看到高頻放電的優(yōu)點。如無電極放電獲得純凈的等離子體,增強電離提高放電效率等等。除此以外,還有一種情況,即當(dāng)電極上覆蓋絕緣性物質(zhì)時,就必須采用高頻放電不可了。電極上有絕緣層的情況在等離子體 ......（本文共 1090 字 , 3 張圖）     [閱讀本文] >>


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