3.4.8 電位分布和高頻鞘

高頻放電的電位分布隨反應(yīng)裝置的結(jié)構(gòu)而異,不能一概而論。但無論如何,等離子體區(qū)總是呈最高電位,即等離子體電位Vp。器壁或置于等離子體中的絕緣性物質(zhì)表面總是成浮置電位Vf。一般說來Vp約比Vf高10V左右。下面根據(jù)不同的反應(yīng)裝 ......（本文共 2341 字 , 12 張圖）     [閱讀本文] >>