3.2.1 MEMS傳感器

MEMS(MicroelectroMechanicalSystems)即微機(jī)電系統(tǒng)(圖3-1),是以微電子技術(shù)和微機(jī)械加工技術(shù)為基礎(chǔ)的多學(xué)科交叉前沿技術(shù)。目前,國內(nèi)外廠家已經(jīng)研發(fā)出了數(shù)百種MEMS傳感器,除了常用的加速度傳感器外,還包括諸如壓力傳感器、光電學(xué)傳感器、 ......（本文共 212 字 , 1 張圖）     [閱讀本文] >>