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2.1 概論
2.2.1.1 材料要求
2.2.1.2 低成本異質(zhì)襯底
2.2.2.1 陷光結構
2.2.2.2 雜質(zhì)擴散
2.3.1 區(qū)熔再結晶的發(fā)展
2.3.2 區(qū)熔再結晶的機理
2.3.3.1 晶粒尺寸增大
2.3.3.2 籽晶層的位錯密度
共258條
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