系統(tǒng)工程方法及其在先進(jìn)半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的應(yīng)用

摘要： 系統(tǒng)工程方法在國內(nèi)外以航空航天、國防科技和船舶工程等為代表的復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)的研發(fā)中發(fā)揮了重要作用。
針對(duì)以光刻機(jī)為代表的先進(jìn)半導(dǎo)體裝備的研發(fā)，發(fā)展和提升以正向設(shè)計(jì)引領(lǐng)、以系統(tǒng)工程方法為指導(dǎo)的自主創(chuàng)新和設(shè)計(jì)制造一體化能力顯得尤其重要。
從系統(tǒng)工程的起源著手，介紹了系統(tǒng)工程的常見方法，并以半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的應(yīng)用為背景重點(diǎn)介紹了系統(tǒng)工程的工具鏈和基于模型的系統(tǒng)工程（MBSE）的部分關(guān)鍵技術(shù)。