面向CMB偏振實(shí)驗(yàn)的220 GHz鈦超導(dǎo)TES探測(cè)器技術(shù)研究
光學(xué)精密工程
頁數(shù): 8 2023-02-25
摘要: 高靈敏度超導(dǎo)相變邊緣探測(cè)器(Transition Edge Sensor,TES)在宇宙微波背景(Cosmic Microwave Background,CMB)輻射B模偏振探測(cè)方面具有重要的應(yīng)用前景。本文設(shè)計(jì)并制備了220 GHz頻段8×8像元的天線耦合鈦超導(dǎo)TES探測(cè)器,實(shí)驗(yàn)表征了刻蝕前鈦超導(dǎo)TES探測(cè)器的低溫?zé)釋?dǎo)和噪聲特性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,鈦超導(dǎo)TES探測(cè)器低溫電聲相互作用...