高性能超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器（特邀）

摘要： 研究了鈦膜的特性及調(diào)控機(jī)制，通過(guò)烘烤后處理工藝分析了臨界溫度隨烘烤時(shí)間和烘烤溫度的變化關(guān)系，發(fā)現(xiàn)臨界溫度隨烘烤時(shí)間對(duì)數(shù)降低，但是隨烘烤溫度指數(shù)降低。拓展了二流體模型提取了超導(dǎo)相變邊緣單光子探測(cè)器的溫度靈敏度系數(shù)和電流靈敏度系數(shù)，并結(jié)合脈沖響應(yīng)得到了器件的熱容，進(jìn)一步理論計(jì)算了能量分辨率對(duì)器件臨界溫度的依存性。最終，在器件制備過(guò)程中集成光學(xué)腔體，在1 550 nm波長(zhǎng)的光子吸收效...