基于SOI-SOG鍵合的圓片級(jí)真空封裝MEMS電場(chǎng)傳感器
電子學(xué)報(bào)
頁數(shù): 9 2023-09-15
摘要: 圓片級(jí)真空封裝是提高微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)電場(chǎng)傳感器品質(zhì)因數(shù)及批量化制造效率的重要途徑.本文提出了一種基于絕緣體上硅(Silicon On Insulator, SOI)-玻璃體上硅(Silicon On Glass,SOG)鍵合的圓片級(jí)真空封裝MEMS電場(chǎng)傳感器,設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了從傳感器敏感結(jié)構(gòu)制備到真空封裝的...