超低導(dǎo)通電阻溝槽柵LDMOS器件研究
電子學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù): 8 2023-07-05
摘要: 本文提出了一種具有超低特征導(dǎo)通電阻的溝槽柵橫向雙擴(kuò)散場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Trench Gate Lateral Double-diffused MOSFET,TG-LDMOS).本結(jié)構(gòu)源極和漏極都在表面,與BCD(Bipolar CMOS DMOS)工藝相兼容.通過(guò)引入介質(zhì)溝槽、垂直柵極、柵極下方的源極多晶硅以及柵極右側(cè)的厚氧化層,將傳統(tǒng)集成型功率器件的一維耐壓拓寬為二維耐壓,包括橫...