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電子疊層的原理與特點(diǎn)

電子顯微學(xué)報(bào) 頁數(shù): 15 2023-11-14
摘要: 即使在像差校正電鏡方興未艾之時(shí),材料的微觀結(jié)構(gòu)分析也面臨殘余像差、帶軸偏離、表面損傷和輻照損傷等問題,不僅使電鏡的空間分辨率近年來一直徘徊在0.5?左右,而且制約了微觀結(jié)構(gòu)分析的可靠性和精度。電子疊層(electron ptychography)是結(jié)合掃描透射電鏡和相干衍射成像的一種計(jì)算成像方法,具有高空間分辨、高相位精度、高劑量效率等特點(diǎn)。電子疊層包括數(shù)據(jù)采集和數(shù)值重構(gòu)兩個(gè)階...

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