電感耦合等離子刻蝕法加工石英晶體諧振器工藝研究

摘要： 為了制備石英晶體諧振器，在石英襯底上采用光刻和電感耦合等離子刻蝕技術(shù)制備臺(tái)階形貌，研究了制備過(guò)程中激勵(lì)電源功率、偏壓電源功率以及導(dǎo)熱物質(zhì)等工藝參數(shù)對(duì)刻蝕效果的影響。并且利用掃描電子顯微鏡對(duì)刻蝕圖形的表面形貌進(jìn)行了觀察，通過(guò)實(shí)驗(yàn)與分析得到了符合工業(yè)生產(chǎn)要求的工藝參數(shù)。最后在最優(yōu)工藝參數(shù)條件下，制得了高約22μm的整齊的臺(tái)階形貌，并將干法刻蝕的結(jié)果與濕法刻蝕對(duì)比，展現(xiàn)了干法刻蝕的特...