一種寬光譜響應(yīng)的雙結(jié)單光子雪崩二極管

摘要： 基于180 nm BCD工藝提出了一種新型雙結(jié)雪崩區(qū)的單光子雪崩二極管（SPAD）探測器，采用N阱/高壓P阱/N+埋層結(jié)構(gòu)形成了兩個垂直堆疊的PN結(jié)，高壓P阱和N+埋層交界面形成較深的主雪崩區(qū)，增強對近紅外短波光子的探測概率；同時，N阱/高壓P阱之間形成淺的次雪崩區(qū)，實現(xiàn)對藍綠光的高效探測，兩結(jié)同時工作能夠有效擴展器件的光譜響應(yīng)范圍。TCAD仿真結(jié)果表明，與傳統(tǒng)的P阱/深N阱結(jié)...