基于電路和版圖輔助的集成電路失效定位研究
固體電子學(xué)研究與進(jìn)展
頁數(shù): 5 2023-10-25
摘要: EMMI和OBIRCH是通用的集成電路失效定位方法,二者屬于器件級定位,能夠?qū)⑹Эs小至局部,但可能無法精確定位失效結(jié)構(gòu)。在EMMI或者OBIRCH技術(shù)基礎(chǔ)上,提出一種基于電路原理/仿真、版圖、微探針測試等來輔助電路分析的定位方法。首先通過有效電激勵進(jìn)行EMMI和OBIRCH分析,確認(rèn)標(biāo)記點(diǎn)是否屬于失效的功能電路;再通過電路原理分析或版圖確定可能的漏電位置和結(jié)構(gòu),最后經(jīng)電路仿真...