一種晶圓級封裝的MEMS數控衰減器

摘要： 設計實現了一種晶圓級封裝的三位MEMS數控衰減器，工作頻段DC～15 GHz，衰減范圍0～35 dB，步進5 dB。衰減器采用MEMS工藝實現，信號傳輸采用共面波導（CPW）結構，6個直接接觸式懸臂梁MEMS開關對稱放置實現不同衰減量的切換，每個開關帶有三個觸點，電阻網絡采用T型結構，整個衰減器實現晶圓級封裝。測試結果顯示，DC～15 GHz頻段內實現了8個衰減態(tài)，衰減器插入損...