柵控二極管ESD工藝優(yōu)化方法研究

摘要： 為解決通過更改器件設(shè)計來提升電路抗靜電放電（ESD）能力時成本高的問題，從柵控二極管的工藝出發(fā)，研究CAN總線電路抗ESD能力提升方法。通過TCAD仿真，評估了溝道摻雜對于柵控二極管抗ESD能力的影響，發(fā)現(xiàn)調(diào)整ESD離子注入工藝可以優(yōu)化柵控二極管導(dǎo)通電阻，提高ESD保護窗口內(nèi)的泄流能力，將電路抗ESD能力從2 000 V提高到3 000 V，為電路級芯片的失效問題提供了一種解決...