基于拓撲優(yōu)化的電滲流微混合器電極

摘要： 電滲是當前芯片實驗室設備中微流體常用的驅動方式之一，其中電極版圖對控制電滲驅動的外電場起到關鍵作用。針對電滲流電極版圖大多基于尺寸優(yōu)化和形狀優(yōu)化的方法難以大幅提升微流控器件性能的問題，建立電滲流電極拓撲優(yōu)化模型，采用濾波方程和閾值投影控制電極結構的特征尺寸，通過連續(xù)伴隨分析方法獲得模型的伴隨敏度，進而演化電極版圖的結構設計變量，最終實現電滲流電極的拓撲優(yōu)化?；谏鲜鐾負鋬?yōu)化方法...