不同頻率驅(qū)動下容性耦合Ar等離子體隨氣壓變化的放電特性

摘要： 討論了在驅(qū)動頻率分別為13.56MHz、40.68MHz、94.92MHz和100MHz，功率為40W，氣壓由3.3～26.6Pa下的容性耦合Ar等離子體的放電特性。利用光譜相對強度法分別診斷了電子激發(fā)溫度和電子密度。采用粒子模擬和蒙特卡羅碰撞模型(PIC/MCC)，模擬了上述實驗條件下中心處電子密度和電子能量概率分布(EEPF)。結(jié)果表明，在每一個驅(qū)動頻率下，電子密度均隨放電...