電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線激光直寫(xiě)技術(shù)研究進(jìn)展

摘要： 電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線在微電子、光電子、機(jī)電系統(tǒng)等領(lǐng)域的需求極大.作為一種無(wú)掩膜柔性制造技術(shù)，激光直寫(xiě)可在多種電介質(zhì)表面制造任意形狀金屬導(dǎo)線，近年來(lái)迅速發(fā)展.基于激光與材料相互作用的光化學(xué)和光熱效應(yīng)，電介質(zhì)表面金屬導(dǎo)線激光直寫(xiě)技術(shù)可分為光致化學(xué)還原金屬離子、選擇性激光燒結(jié)、激光誘導(dǎo)向前轉(zhuǎn)移、激光加熱還原金屬離子等.文中詳細(xì)介紹了幾種金屬導(dǎo)線激光直寫(xiě)技術(shù)的原理、特點(diǎn)以及最新研究進(jìn)展，...