光學(xué)窗口真空釬焊技術(shù)研究現(xiàn)狀

摘要： 光學(xué)窗口作為半導(dǎo)體光電器件封裝中的關(guān)鍵外殼構(gòu)件之一，為光電器件提供了必不可少的光學(xué)信號透過路徑，該結(jié)構(gòu)的封接質(zhì)量會對器件的長期壽命產(chǎn)生重要影響。真空釬焊技術(shù)是以釬料作為填充材料，并在真空環(huán)境下將窗座與光窗片釬焊獲得永久氣密性連接的過程，是實現(xiàn)光學(xué)窗口封接的主要技術(shù)之一，其具有封接溫度低、氣密性高、平面度好以及可靠性高等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于光學(xué)器件真空氣密性封裝及光學(xué)設(shè)備制造等領(lǐng)域...