長/長波雙色二類超晶格紅外探測器研究

摘要： 報道了長/長波雙色二類超晶格紅外焦平面探測器組件的研制。通過能帶結(jié)構(gòu)設(shè)計和分子束外延技術(shù)，獲得了表面質(zhì)量良好的長/長波雙色超晶格外延材料。突破了長波超晶格低暗電流鈍化、低損傷干法刻蝕等關(guān)鍵技術(shù)，制備出像元中心距30μm的320×256長/長波雙色I(xiàn)nAs/GaSb超晶格焦平面探測器芯片。將芯片與雙色讀出電路互連，采用杜瓦封裝，與制冷機(jī)耦合形成探測器組件。組件雙波段50%后截止波...