高純度石英玻璃40～110 GHz頻段電參數(shù)的表征（英文）
紅外與毫米波學(xué)報(bào)
頁(yè)數(shù)： 7 2023-08-15
摘要： 基于127μm的高純度石英（99.999 7%）基底設(shè)計(jì)了共面波導(dǎo)（CPW）、微帶環(huán)形諧振器（MRR）結(jié)構(gòu)，通過(guò)測(cè)試得到在40～110 GHz的頻率范圍內(nèi)，CPW線(xiàn)的平均插入損耗在0.096～0.176 dB/mm之間。此外，采用MRR方法提取了石英的相對(duì)介電常數(shù)和損耗角正切值，該石英基底在V波段和W波段的相對(duì)介電常數(shù)分別介于3.7～3.85和3.85～4之間，損耗角正切值在V...
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