AlGaN基深紫外微型發(fā)光二極管的研究進(jìn)展(特邀)

摘要： 隨著AlGaN基深紫外發(fā)光二極管(DUV LED)的發(fā)展，其不僅在殺菌消毒領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，在日盲紫外光通信領(lǐng)域的應(yīng)用也受到越來越多的關(guān)注。這主要是由于相比其他的紫外光源(如汞燈、激光)，其具有功耗低、設(shè)計靈活且調(diào)制帶寬高的優(yōu)勢。而DUV LED的帶寬嚴(yán)重依賴于器件尺寸，器件尺寸越小，其帶寬越高。但是，隨著深紫外微型發(fā)光二極管(μLED)的尺寸減少，盡管其帶寬得到提高，但是其光...