閃耀光柵錐面衍射的標(biāo)量分析

摘要： 基于擴(kuò)展標(biāo)量衍射理論，同時(shí)對(duì)于透射和反射的情況，考慮了入射光的方位角（即錐面衍射），推導(dǎo)了閃耀光柵任意衍射級(jí)次的相對(duì)衍射效率。證明在分別以平面和介質(zhì)分界面為界對(duì)閃耀光柵運(yùn)用擴(kuò)展標(biāo)量理論時(shí)，得到的相對(duì)衍射效率公式不同，但是得到的最優(yōu)化深度和閃耀波長相同，并給出了相應(yīng)的顯式表達(dá)式。以特定參數(shù)的閃耀光柵為例，分別將兩種相對(duì)衍射效率公式與嚴(yán)格耦合波理論進(jìn)行了比較，結(jié)果表明，兩種公式差距...