移相干涉測量中的抗振技術(shù)綜述

摘要： 移相干涉術(shù)是一種高靈敏度的非接觸式光學(xué)測量方法。該方法在光學(xué)表面測量、形變測量等許多方面被廣泛應(yīng)用。然而環(huán)境振動對該方法的測量結(jié)果可能產(chǎn)生不可忽視的影響，包括造成條紋抖動、干涉圖模糊等現(xiàn)象。為了解決這個問題，提高移相干涉測量結(jié)果的穩(wěn)定性，干涉測量中的抗振技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。本文將抗振技術(shù)分為主動與被動兩大類，主動抗振旨在隔振，即削弱傳播至干涉系統(tǒng)的振動信號強(qiáng)度；被動抗振旨在消振，即消...