脈沖寬度對激光驅(qū)動微滴前向轉(zhuǎn)移的影響

摘要： 激光驅(qū)動微滴前向轉(zhuǎn)移工藝在三維金屬微結(jié)構(gòu)打印方面具有重要的應(yīng)用前景。脈沖寬度是影響微滴轉(zhuǎn)移行為的一個重要因素，但是目前的研究對于不同脈寬下微滴產(chǎn)生以及沉積行為認識不夠充分。本文以500 nm銅膜為對象，開展了5種不同脈寬下激光驅(qū)動微滴前向轉(zhuǎn)移實驗。研究結(jié)果表明，隨著脈沖寬度的增大，獲得完整微滴的激光驅(qū)動微滴前向轉(zhuǎn)移工藝最低以及最高能流密度閾值逐漸增高，同時脈寬對沉積微滴形貌有顯...