太赫茲功能器件表面增透膜研究進(jìn)展
激光與光電子學(xué)進(jìn)展
頁(yè)數(shù): 7 2023-09-25
摘要: 工作于太赫茲波段的功能器件常以硅、鍺等高折射率材料為界面,這會(huì)導(dǎo)致界面與空氣的阻抗失配,從而引起不必要的光能損失。在界面鍍制增透膜可以有效減小反射率、增加透射率,從而大大提高器件性能,因此增透膜的研制具有重要意義?;谏鲜龅膽?yīng)用需求,首先介紹太赫茲增透膜的研究意義,然后著重介紹目前國(guó)內(nèi)外制備太赫茲增透膜的幾種常見(jiàn)方法,并分析各自的優(yōu)缺點(diǎn),最后對(duì)太赫茲增透膜的研究進(jìn)行總結(jié)和展望。