基于干涉的光學玻璃劃痕深度測量

摘要： 劃痕是光學玻璃常見的缺陷，會導致光束質(zhì)量下降、光學玻璃熱效應增強、抗激光損傷性能降低等，所以在加工過程中需要對其進行準確檢測和表征。選取劃痕深度值為70 nm的光學玻璃為檢測樣本，采用光干涉法通過光波加載光學玻璃劃痕信息，接著對干涉條紋圖像進行圖像處理和邊緣檢測，獲取劃痕的實際深度值。實驗證明，光干涉法測量劃痕深度值為70 nm的光學玻璃時，相對誤差低于1%。所提方法為光學玻璃...