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具有階梯型超晶格電子阻擋層和楔形空穴阻擋層結(jié)構(gòu)的AlGaN基深紫外激光二極管性能優(yōu)化

激光與光電子學(xué)進(jìn)展 頁數(shù): 8 2022-10-11
摘要: 為了提升深紫外激光二極管(DUV LDs)的載流子注入效率,優(yōu)化其工作性能,提出了階梯型超晶格(SSL)電子阻擋層(EBL)和楔形(WS)空穴阻擋層(HBL)結(jié)構(gòu)。使用Crosslight軟件分別仿真了具有矩形EBL和HBL、矩形超晶格(RSL)EBL和塔形(TS)HBL以及SSL EBL和WS HBL的DUV LDs。仿真結(jié)果表明,SSL EBL和WS HBL更有效地增加了量...

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