大功率量子級聯(lián)激光器的光學(xué)與熱學(xué)協(xié)同優(yōu)化設(shè)計

摘要： 針對大功率量子級聯(lián)激光器存在熱積累嚴重的問題，本文基于MBE與MOCVD結(jié)合的二次外延生長InP基量子級聯(lián)激光器結(jié)構(gòu)的工藝方法，設(shè)計優(yōu)化中波單管4W連續(xù)光輸出的大功率量子級聯(lián)激光器光學(xué)與散熱性能。通過COMSOL軟件對器件結(jié)構(gòu)進行建模，設(shè)計器件光學(xué)和熱學(xué)結(jié)構(gòu)模型，分析不同結(jié)構(gòu)參數(shù)對器件性能的影響，得到最優(yōu)結(jié)構(gòu)參數(shù)：在In_(0.53)Ga_(0.47)As層厚度為50 nm,波...