紅外激光致砷化鎵損傷過程的散射光診斷

摘要： 為了定量研究紅外激光輻照下砷化鎵的損傷過程，采用波長(zhǎng)1080 nm的光纖激光作為光源，接收砷化鎵前后表面經(jīng)激光照射產(chǎn)生的散射光，依據(jù)接收到的散射光強(qiáng)度對(duì)損傷過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，并建立有限元模型研究了砷化鎵溫度場(chǎng)和散射信號(hào)的演變規(guī)律。結(jié)果表明，散射曲線的3個(gè)階段分別代表了砷化鎵處于非本征吸收階段、本征吸收階段和表面損傷階段；當(dāng)激光功率密度為1.8 kW/cm~2、輻照時(shí)間為193 ...