結(jié)合逆向強化學(xué)習(xí)與強化學(xué)習(xí)的晶圓批處理設(shè)備調(diào)度方法

摘要： 針對晶圓批處理設(shè)備調(diào)度問題，以最小化生產(chǎn)周期為優(yōu)化目標，考慮晶圓動態(tài)到達、重入加工與不兼容性約束等特點，提出了結(jié)合逆向強化學(xué)習(xí)與強化學(xué)習(xí)(combine Inverse Reinforcement Learning and Reinforcement Learning, IRL-RL)的晶圓批處理設(shè)備調(diào)度優(yōu)化方法。根據(jù)批處理設(shè)備的加工特性，將問題分解為組批和批次指派兩個子問題；...