基于機(jī)器視覺的集成電路聲掃圖像缺陷檢測軟件設(shè)計(jì)

摘要： 集成電路是電子產(chǎn)品的重要組成部分，其質(zhì)量控制和故障分析是電子產(chǎn)品能否長期運(yùn)行的前提。聲學(xué)掃描顯微鏡SAM作為一種無損缺陷檢測手段，在集成電路成像檢測、內(nèi)部缺陷識(shí)別方面獲得了廣泛應(yīng)用。針對聲掃圖像缺陷檢測的智能化需求，以及對檢測的實(shí)時(shí)性和正確性要求，研發(fā)了基于機(jī)器視覺的集成電路聲掃圖像缺陷檢測軟件，提供了圖像處理和圖像檢測一體化功能。該軟件的算法框架結(jié)合了深度學(xué)習(xí)技術(shù)、OpenC...