基于光學(xué)頻率梳的高精度測距技術(shù)研究進(jìn)展
機(jī)械工程學(xué)報(bào)
頁數(shù): 17 2023-09-28
摘要: 精密測量技術(shù)是先進(jìn)制造的重要支撐,其中精密激光測量技術(shù)在幾何量測量特別是在線和高精度測量中應(yīng)用最為廣泛。針對先進(jìn)制造更高的要求,新的激光測量技術(shù)不斷發(fā)展,如基于光學(xué)頻率梳的測距技術(shù),其以寬光譜、窄脈寬、高頻率穩(wěn)定性的光頻梳作為光源,通過相干探測可實(shí)現(xiàn)高精度和寬范圍的絕對距離測量。同時(shí),微納制造工藝的提升以及光電子集成技術(shù)的發(fā)展,為進(jìn)一步滿足現(xiàn)場測量環(huán)境下高穩(wěn)定性、儀器集成化和在...