基于高階微觀特征交互的晶圓異常檢測(cè)研究

摘要： 為提高晶圓異常檢測(cè)準(zhǔn)確率，并針對(duì)基于分塊策略進(jìn)行異常檢測(cè)過(guò)程中，特征信息無(wú)法交互的問(wèn)題，提出一種基于高階微觀特征交互的晶圓異常檢測(cè)模型——堆疊交互自編碼器(stacked interactive autoencoder, SinAE)。首先，采用層次聚類對(duì)采集到的高維數(shù)據(jù)進(jìn)行無(wú)監(jiān)督聚類，并根據(jù)戴維森堡丁指數(shù)(Davies-Boulding index,DBI)的肘拐點(diǎn)確立最優(yōu)聚...