大氣壓Ar-NH3混合氣體氧化鋯介質(zhì)阻擋放電特性與產(chǎn)物分布
石油學(xué)報(bào)(石油加工)
頁數(shù): 11 2023-07-10
摘要: 為了更好地調(diào)控等離子體氨制氫的效果,從等離子體自身入手,采用較高介電常數(shù)(37.1)的氧化鋯阻擋介質(zhì),通過改變外施電壓幅值和NH
3摻雜比例,研究大氣壓Ar-NH
3混合氣體氛圍放電的光電特性,利用光學(xué)發(fā)射光譜分析了放電產(chǎn)物的種類和代表性產(chǎn)物的分布規(guī)律。研究發(fā)現(xiàn),隨著外施電壓的增加,等離子體沉積的功率逐漸增強(qiáng),放電電流脈沖數(shù)目逐漸增加。較低NH
3比例下,亞穩(wěn)態(tài)Ar原子和NH_...