皮秒激光加工的微織構(gòu)對碳化硅潤濕性的影響

摘要： 為改善碳化硅的表面潤濕性能,本研究利用脈沖激光加工表面處理和化學(xué)改性分別改善了碳化硅的表面形貌和表面能。實驗選用皮秒激光加工方式構(gòu)造表面微織構(gòu),利用激光共聚焦顯微鏡分析了微織構(gòu)的微觀形貌,并進一步分析了燒蝕形態(tài)與激光自身特性和加工參數(shù)之間的聯(lián)系。研究發(fā)現(xiàn),激光加工效果以燒蝕為主,重熔為輔,而由于碳化硅燒蝕閾值和激光能量在光斑中的高斯分布特性,形成的微織構(gòu)的燒蝕凹槽呈倒三角形。此...