壓電式高溫液滴噴射元件研制

摘要： 極紫外(Extremeultra-violet,EUV)光刻機(jī)光源主要采用激光產(chǎn)生等離子體技術(shù),用高功率激光轟擊錫液滴靶產(chǎn)生13.5nm波長(zhǎng)的EUV光。其中,基于逆壓電效應(yīng)的壓電式高溫錫液滴噴射元件是獲取高重頻高溫錫液滴靶的關(guān)鍵部件。本項(xiàng)工作突破了耐250℃高溫微細(xì)壓電陶瓷管的組成設(shè)計(jì)和精細(xì)制備,以及高溫錫液滴噴射元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和封裝等關(guān)鍵技術(shù),成功研制了壓電式高溫液滴噴射元件...