結(jié)構(gòu)參數(shù)對SAW傳感器的影響及電極失效分析

摘要： 文中通過實驗制備了一種以LiNbO₃為壓電基底，Pt為電極，SiO₂為保護層的單端口諧振型聲表面波傳感器，探究了IDT與反射柵之間的距離L_g和電極寬度對SAW傳感器的影響，揭示了不同溫度下電極的微觀變化規(guī)律，結(jié)果表明：當L_g=λ/2時，SAW傳感器可以激發(fā)1個穩(wěn)定的諧振峰，寄生峰對其影響較小；當L_g=3λ/8時，可以激發(fā)2個穩(wěn)定的諧振峰；隨著電極寬度的增加，聲表面波傳...